匀胶机SM-150

匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的 选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸为 150mm (6”)127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足直径为 176mm。

 

SM 系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力缩小化，SAWATEC   公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护 碗。经由如此的 设计，也可以将维护成本最小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。

该匀胶机可提供桌面便捷式和内嵌式两种。

功能(基本配置)

可编程， 50 个程序(各包含 24 个程序段)

适用于重复工艺的快速启动功能

触摸屏面板控制，方便用户程序配置

工艺参数：转速、加速度、工艺时间

旋转方向可选 (顺时针、逆时针)

手动装卸基板

通过具有安全保护的真空系统进行基板固定

手动盖子带有空气入口和闭合安全保护

工艺结束时的声音信号

性能数据

转速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm

转速加速度：0–8,000rpm 为0.8秒/0–10,000rpm为1秒 1)

减速度：10,000rpm-0 为2.5秒/8,000rpm-0 为0.8秒 1)

工艺时间为 2376 s

每个程序段的给胶时间为 99 s

1. 取决于基板尺寸和旋转卡盘的型号          

附加功能(可选项)

半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管

工艺腔的手动氮气净化装置

用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度 1.8m)

经阳极电镀处理的铝制工艺腔

铝制或 PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗

用于 SM-150 匀胶机的真空泵

晶圆定位器 2”–6”(圆形)

旋转卡盘分类

为了达成 涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不

同，可使用单块结构或具有光学辅助置 能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背

面被弄脏，有时不仅要选择 的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘

的更换过程非常简单，不需要使用工具。

真空卡盘小片

真空卡盘 1”至 3”(圆形)

真空卡盘 100mm(4”)至 150mm(6”)

真空卡盘 100x100mm(4”x4”)

真空卡盘 125x125mm(5”x5”)

其他卡盘需咨询

设计和尺寸

桌上式版本 SM -150-BT 内嵌式版本 SM-150-BM

紧凑且节省空间的结构形式

POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性

POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。

透明盖板：玻璃制成

具有 3.5” 彩色显示屏的触摸屏面板

高精度，高动态的交流伺服电机

经电解抛光处理的不锈钢外壳

安装模块(BM): 300 x 300 x 368mm (长 x 宽 x 高)

外壳(BT): 350 x 510 x 403mm (长 x 宽 x 高)

安装面板(BM): 320 x 166 x 50mm (长 x 宽 x 高)

重量(BT): 约 29kg 重量(BM): 约 20kg       

接口

230 VAC 50/60Hz 10A

脚踏开关用插头接口

技术真空，软管 Ø6/4mm(-0.8bar)

压缩空气或氮气软管 Ø6/4mm(3bar)

( 于和给胶系统配合使用)

排放接口 Ø12mm

BT 废气接口 Ø38mm(20–50m3/h)

BM 废气接口 Ø25mm(20–50m3/h)