LCVD系列激光化学气象沉积修复系统
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产品详情
“LCVD系列激光化学气象沉积修复系统”参数说明
是否有现货: | 否 | 认证: | ISO9001 |
品牌: | SEMISHARE | 分类: | 测试仪器仪表 |
型号: | LCVD-G4.5/LCVD-G8.5 | 产量: | 1000 |
“LCVD系列激光化学气象沉积修复系统”详细介绍
SEMISHARE LCVD系列激光修复系统
1. CVD工作原理:用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线,通孔以减少线缺陷,进而提高良率。
CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,修复短路,断线,以减少线缺陷,进而提高良率。
2. 连线效果
成膜规格:
材质:Cr,Mo,W,Al
最小线宽:2 micron
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