高低温真空探针台 煜芯科技V-4 芯片测试平台
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产品详情
“高低温真空探针台 煜芯科技V-4 芯片测试平台”参数说明
是否有现货: | 是 | 品牌: | 煜芯科技 |
加工定制: | 电参数测量仪 | 类型: | 电学测量 |
测量范围: | 直流、射频测量 | 测量精度: | 100fa |
功率: | 200W | 频率: | 50GHz |
重量: | 150kg | 尺寸: | 800*800*580mm |
电源: | 220V | 型号: | V-4 |
规格: | 高低温真空探针台 | 商标: | 煜芯科技 |
包装: | 木箱包装 | 产量: | 999 |
“高低温真空探针台 煜芯科技V-4 芯片测试平台”详细介绍
名称:高低温真空探针台
型号:V-4
应用:晶圆、芯片、LED测试、场晶体管、IGBT、分立器件等
测试类型:IV/CV测试、RF测试、光电测试等
搭配仪器:吉时利2400系列、4200系列、安捷伦B2900系列、1500系列等
规格 |
标准配置 |
可选配置 |
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腔 |
腔体材质 |
SUS304 |
|
腔体真空度 |
10E-4pa(分子泵) |
10E-1pa(机械泵) |
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腔体接口 |
KF40、KF25、KF16 |
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探针臂接口 |
6个 |
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样品台尺寸 |
4英寸 |
2英寸、6英寸 |
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样品台材质 |
紫铜镀金 |
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观察窗 |
4英寸高透石英玻璃 |
下沉窗口 |
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真空配件 |
KF波纹管、KF卡箍、破真空阀 |
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温度范围 |
77k-475k |
77k-675k |
|
温度均匀性 |
±0.5k |
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温控精度 |
0.1k |
1k、0.01K |
|
温度稳定性 |
±0.5k |
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|
制冷方式 |
液氮,开循环 |
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加热方式 |
直流加热 |
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探 |
探针臂数量 |
4个 |
5-6个 |
探针臂移动行程 |
XYZ为50mm*100mm*25mm |
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探针臂移动精度 |
5.0um |
2.0um |
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探 |
探针夹具数量 |
4个 |
|
线缆 |
三轴线 |
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接头 |
BNC三轴母 |
BNC三轴公、同轴公 |
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可耐电流 |
10A |
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可耐电压 |
1000V |
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漏电精度 |
100fA |
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|
探针固定 |
管状固定 |
弹簧固定 |
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探 |
探针材质 |
钨钢 |
铍铜、镀金 |
探针针尖 |
针尖半径0.5um至100um可选 |
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探针类型 |
直流探针 |
射频探针 |
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显 |
显微镜类型 |
三目体视显微镜 |
单筒显微镜、金相显微镜 |
显微镜倍率 |
16X-100X |
10X-400X |
|
显微镜移动 |
绕立柱360度旋转,视野可覆盖整个样品台 |
龙门架结构,XY移动行程50mm*50mm |
|
显微镜升降 |
50mm |
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工业 |
显示器 |
21寸 |
11.6寸等其他尺寸 |
工业相机 |
1200万像素,HDMI高清接头 |
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拍照、录像 |
可拍照、录像 |
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测量 |
接电脑可测量 |
直接在显示器上测量 |
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数据保存 |
SD卡保存 |
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真空 |
类型 |
分子泵组 |
机械泵 |
极限真空度 |
10E-4pa |
10E-1pa |
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接口 |
KF40 |
KF25 |
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液氮 |
类型 |
自增压液氮罐 |
|
容积 |
100L |
50L、150L |
|
其他 |
双 阀、带脚轮 |
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其他可选配置:光学平台、超高温配件、射频配件、光纤配件、转接头、转接线 |
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