加拿大Zaber电控平移台 高精度线性平移台
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产品详情
“加拿大Zaber电控平移台 高精度线性平移台”参数说明
是否有现货: | 否 | 认证: | 1 |
品牌: | Zaber | 尺寸: | 1 |
类型: | Zaber | 适用范围: | 高精度电控平移台 |
重量: | 1 | 加工定制: | 否 |
型号: | X-ldm-ae | 规格: | 1 |
商标: | Zaber | 包装: | 纸箱 |
专利分类: | 1 | 专利号: | 1 |
电感: | 1.24 mh/phase | 电源大小: | 48 VDC |
Max速度: | 1200 mm/s | 峰值推力: | 60 n |
峰值连续推力: | 35 n | Min速度: | 0.000001 mm/s |
“加拿大Zaber电控平移台 高精度线性平移台”详细介绍
X-LDM-AE系列为移动磁道电动线性平移台,也被称为1μm精度电控平移台或高精度线性平移台,英文名Linear Motor Stage。这款高精度电控平移台适用于要求出色的精度,和可靠性的应用。中央安装的线性编码器可实现1μm的位置精度和一致的移动步长,步长低至25 nm。
X-LDM-AE采用 无铁芯马达,提供尊龙人生就是搏网站和加速同时最大限度地减少热量产生,从而提高可重复性。驱动器和编码器都是非接触式的,没有移动电缆,因此系统寿命很长。
有限行程的需求下,移动式磁道平移台可以提供 的精度。因为平移台移动的部分是与电流及热源区隔分开的,使得移动能有 的热稳定性及 低的电噪声干扰。并且stationary forcer是通电后会产生热的装置,被固定在当作散热器的系统底部,这也使得整个系统拥有 的热稳定性。
X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口,并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样,X-LDM-AE系列设计为“即插即用”,易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出,用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验,PL和EL实验还有自动化设备等应用上。
X-LDM-AE高精度电控平移台特点
- 高重复性80nm和精度1μm,Min增量移动25 nm
- 1 nm分辨率并有线性编码器
- 速度 快可达1.2M/秒,加速度高达3.5g
- 60,110,210 mm三种行程选择
- 内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接
- 非接触式无铁芯直线电机,具有超精密,高动态和零间隙
- 一个数字输入和两个数字输出
- 可组合成双轴XY
重复性Repeatability:
在稳定条件下,指示设备移动到目标位置反复100次(每次从相同方向接近)时,实际位置的的偏差。
精度(单向)Accuracy (unidirectional):
当从相同方向,在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。
增量移动Minimum Incremental Move:
定位轴增量移动的步长(Min机械增量)。
X-LDM-AE高精度电控平移台规格参数:
X-LDM-AE规格
参数
Built-in Controller
Yes
精度(单向)
1 µm
重复性
< 0.08 µm
Min增量移动
25 nm
Max速度
1200 mm/s
Min速度
0.000001 mm/s
Speed Resolution
0.000001 mm/s
Encoder Count Size
1 nm
编码器类型
Linear analog encoder
峰值推力
60 N
峰值连续推力
35 N
通讯接口类型
RS-232
通讯协议
Zaber ASCII (Default)
Maximum Centered Load
120 N
Maximum Cantilever Load
1200 N cm
Guide Type
Crossed-Roller Bearing
Maximum Current Draw
3000 mA
电源大小
48 VDC
电源插头
2-pin screw terminal
马达电机类型
Moving Magnet Track Linear Motor
马达电机额定电流
2400 mA/phase
电感
1.24 mH/phase
数据线
Locking 4-pin M8
Limit or Home Sensing
Optical Index Mark
手动控制
带按钮的分度旋钮
Axes of Motion
1
LED指示灯
Yes
安装接口
M6 threaded holes
工作温度范围
10 to 40 °C
真空兼容
No
RoHS Compliant
Yes
CE Compliant
Yes
Digital Input
1
Digital Output
2
X-LDM-AE高精度线性平移台参数对比:
型号
行程
Max加速度
垂直抖动偏差
水平抖动偏差
X-LDM060C-AE54
60 mm (2.362 ")
34.3 m/s2 (3.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM110C-AE54
110 mm (4.331 ")
24.5 m/s2 (2.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM210C-AE54
210 mm (8.268 ")
14.7 m/s2 (1.50 g)
< 8 µm (< 0.000315 ")
< 5 µm (< 0.000197 ")
X-LDM060C-AE54D12
60 mm (2.362 ")
34.3 m/s2 (3.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM110C-AE54D12
110 mm (4.331 ")
24.5 m/s2 (2.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM210C-AE54D12
210 mm (8.268 ")
14.7 m/s2 (1.50 g)
< 8 µm (< 0.000315 ")
< 5 µm (< 0.000197 ")
型号
Pitch
Roll
Yaw
Moving Mass
X-LDM060C-AE54
0.003 ° (0.052 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
1.74 kg (3.828 lbs)
X-LDM110C-AE54
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
2.29 kg (5.038 lbs)
X-LDM210C-AE54
0.01 ° (0.174 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
3.17 kg (6.974 lbs)
X-LDM060C-AE54D12
0.003 ° (0.052 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
1.74 kg (3.828 lbs)
X-LDM110C-AE54D12
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
2.29 kg (5.038 lbs)
X-LDM210C-AE54D12
0.01 ° (0.174 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
3.17 kg (6.974 lbs)
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