E2000-大批量生产的卧式炉
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产品详情
“E2000-大批量生产的卧式炉”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 认证： | 厂家认证 |
| 品牌： | centrotherm | 自动化程度： | 全自动 |
| 是否加工定制： | 是 | 电流： | 交流 |
| 型号： | E2000 | 商标： | centrotherm |
| 包装： | 木箱 | 产量： | 10000 |
“E2000-大批量生产的卧式炉”详细介绍
E2000-大批量生产的卧式炉基本介绍
E2000-大批量生产的卧式炉性能特点
centrotherm 2000专为大批量生产而设计，支持多种工艺能力，适用于大批量生产和高工艺性能的用户，并具有突出的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性，并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的SiC工艺管
特点：
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计，便于在洁净室安装调试
E2000-大批量生产的卧式炉技术参数
E2000-大批量生产的卧式炉使用说明
E2000-大批量生产的卧式炉采购须知
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