Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长
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产品详情
“Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 认证： | 厂家认证 |
| 品牌： | centrotherm | 自动化程度： | 全自动 |
| 是否加工定制： | 是 | 电流： | 交流 |
| 型号： | Activator 150 | 商标： | centrotherm |
| 产量： | 10000 |
“Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长”详细介绍
Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长基本介绍
Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长性能特点
centrotherm Activator 150 高温炉生产线专为硅-碳化合物（SiC）或 -氮化合物（GaN） 设备的后植入烧结而设计开发。Activator 150 可用于多种类型炉体， 如研发炉和批量生产炉， 且处理灵活性高。centrotherm 的无金属加热装置的 设计允许处理温度高达 1850 °C 同时缩短了工艺循环时间。由于占据空间小、购置成本低，所以 Activator 150 可实现生产具有成本效益。
特点：
高活化率
表面粗糙程度
温度最高达 1850°C
批量规模高达 50硅片（150mm）
加热率最高达 150 K/min
通过SiH4可实现硅“过压
Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长技术参数
Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长使用说明
Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长采购须知
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