产品命名规则：

类型一：NEO ABC

AB——可加工晶圆尺寸：20：6吋与8吋；30：8吋与12吋

C——等离子模组方式：1-RIE；2-微波；3-双源；4-DCP

类型二：NEO ABCD

A——可加工晶圆尺寸：2：6吋与8吋；3：8吋与12吋

B——腔体数量

C——左侧腔体等离子模组方式：1-RIE；2-微波；3-双源；4-DCP

D——右侧腔体等离子模组方式：1-RIE；2-微波；3-双源；4-DCP

 

与普通等离子清洗机的区别：

1. TRYMAX设备具有 的精度控制和均匀性控制
2. TRYMAX设备的等离子体属于各向同性等离子体，执行的轻度灰化

 

主要使用场景：

1.  实际上可以应用到半导体加工的前、后道工序。但是，由于传统思想约束，亚洲地区只用于后道工序。在欧美，前道工序的应用案例还是很多。
2.  目前在后道工序中必须使用的场景是光刻（黄光工艺）之后和金属镀层之前。其它更多的应用需要根据用户和使用体验。
3.  更多客户需要改善表面质量，提高后续工艺可靠性的环节。

特点和优势：

50. 结构简明，使用便捷，造就成功
50. 集成世界 的技术于一体
50. 坚固而可靠的设计
50. 的性能价格比
50. 驻地的配件供应与服务
50. 世界范围的杰出的产品支持团队

技术规格：

运动系统：

类型: 闭环控制无刷DC伺服马达

编码器精度: 10 微米

X-Y 定位精度: ± 75 微米 (0.003 英寸)

X-Y 贴装精度: ± 100 微米 (0.004 英寸), 3 sigma

X-Y 加速度: 0.25 克 , S型反弹曲线

X-Y 可重复性: ± 25 微米 (0.001 英寸)

Z轴可重复性: ± 25 微米 0.001 英寸)

Z轴移动: 75 毫米 (3.0 英寸)

X-轴 移动: 325 x 325 毫米 (12.8 x 12.8 英寸)

视图和照明

可视模式: 全自动模式识别可视系统

照明: 可编程, 同轴, 红/蓝 LED, 256 阶调色

计算机

搭配鼠标操作的Windows® 操作系统的笔记本电脑。

软件

用户使用环境:   Fluidmove® 软件

操作系统:   Windows® OS

胶体输出方式

DispenseJet® 喷射阀: DJ-9500

NexJet® 喷射点胶系统: NJ-8

Heli-Flow® 螺旋泵: DV-7000, DV-8000

点胶阀: DV-01, DV-02, DV-03, DV-05,