钨离子注入元件及配件

钨离子注入件根据用途又可被称为阴极、腔室、灯丝、支架、绝缘体等等。此外我们也提供陶瓷离子注入件，离子注入是半导体生产中的重要工艺。植入系统在晶圆中掺杂外来原子以改变材料特性，例如导电性或晶体结构。光束路径是注入机系统的中心。在这里，离子以非常高的速度生成、集中、大大加速并聚焦在晶片上。由难熔金属制成的组件和备件有助于确保该过程尽可能无杂质。

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