单罐石英在线加热器

产品介绍：

 

单罐石英在线加热器是采用 卤素发热体组件及高纯度美国石英料加工组合而成的。 它专为处理与石英兼容的化学品而设计，可确保性能和可靠性。半导体高纯在线加热器,体积小且热效率高，是一款可以自动恒温、省电的加热器。具有干烧保护功能，配有标准 PT100 温度传感器（可根据需要配置 K、J 或其他温度传感器）和可选的泄漏检测传感器，以增强性能。

 

主要应用：

单罐石英在线加热器具备自动恒温控制、节能增强功能（如干烧保护和泄漏检测），使其非常适合晶圆加工的这些关键步骤，其中维持特定温度范围对晶圆的质量和一致性至关重要。
1. 晶圆清洗 - 在需要 温度控制的清洗阶段，以去除污染物而不损伤晶圆。
2. 化学剂和溶剂加热 - 在化学处理步骤中，如蚀刻和显影过程，需要精确控制化学品的温度。
3. 光刻胶烘焙 - 在光刻过程中，需要烘焙晶圆以固化光刻胶层，其 温度控制对保持图案完整性至关重要。
4. 蚀刻和显影之后处理 - 用于蚀刻后清洗和显影之后阶段的加热，确保去除残留物。
5. 快速热处理（RTP） - 在RTP步骤中提供快速均匀加热，这些步骤要求 的温度控制，以修改硅晶圆的物理特性。
6. 湿热氧化 - 在需要控制加热溶液进行晶圆热氧化的过程中。
此外，单罐石英在线加热器也广泛应用于其他行业，包括医疗、制药、化学实验室

 

基础信息

 

产品名称	半导体高纯石英在线加热器
加热元件	卤素灯管
与药液接触材质	高纯美国石英料，接口为高纯PFA转接件
外观板材质	阻燃PVC板
性能参数	电压 200-380V     50/60Hz    单项/三项
温度范围	25-180℃
进出接口	3/4'入珠

选型表

型号 Model	电压 Voltage	功率 Power	额定典电流 Rated Current	外观尺寸 Exterior Dimensions
KRT-H-ZSD-3P208-4.5K-A	200-208V(AC 3φ)50/60 HZ	4.5kw	12-12.5A	(L)470mm*(W)190mm*(H)200mm
KRT-H-ZSD-1P220-4.5K-A	200-240V(AC 1φ)50/60 HZ	4.5kw	17.2-18.8A	(L)470mm*(W)190mm*(H)200mm
KRT-H-ZSD-1P208-6.0K-A	200-240V(AC 1φ)50/60 HZ	6.0kw	25-30A	(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm
KRT-H-ZSD-3P280-6.0K-A	200-208V(AC 3φ)50/60 HZ	6.0kw	16-16.7A	(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm
KRT-H-ZSD-3P380-6.0K-A	380-400V(AC 3φ)50/60 HZ	6.0kw	8.2-8.7A	(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm
KRT-H-ZSD-3P208-9.0K-A	200-208V(AC 3φ)50/60 HZ	9.0kw	24-24.9A	(L)590mm*(W)200mm*(H)210mm
KRT-H-ZSD-3P380-9.0K-A	380-400V(AC 3φ)50/60 HZ	9.0kw	12.4-13A	(L)590mm*(W)200mm*(H)210mm

 

产品优势

 

1: 洁净，采用间接加热的方式
2: 纯度高，罐体采用美国高纯石英材料
3: 耐腐蚀、所有接触药液材料为PFA管路/高纯度石英罐
4: 紧凑、直接安装在管道上满足小的安装位置
5: 箱体材料采用品牌FM防火认证PVC材料。
6.加热性能加热能力（4.5KW为例）,药水容积为50L

产品展示