产品名称：
中国光电URE-2000A型光刻机

产品特点：
曝光面积：150mm×150mm
分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）
对准精度：0.6μm
掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm
照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围）
掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
胶厚：500m(SU8胶，用户提供匀胶条件)
光源平行性：3.5
汞灯功率：1000W（直流）
曝光设定方式：定时（ 方式0.1s-999.9s任意设定）
外形尺寸:1400mm（长）1200mm(宽) 2150mm（高）

技术参数 配置:
（1）曝光头
冷光椭球镜
1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
XYZ汞灯调节台
光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1
、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片
、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
冷却风扇
循环水冷系统
（2）对准工件台
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,自动完成
样片调焦机构，自动调
承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
光源（配备品2只）、电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
（4）CCD对准系统
光源（配备品3只）、电源
成像光学系统
数据采集卡
CCD
（5）电控系统
汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
单片机控制系统
控制柜桌
计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)
（6）气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
（7）其他附件
真空泵一台（无油泵）
空压机一台（静音泵）
管道
（8）技术资料
使用维修说明书
显微镜使用说明书

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