简介

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是高精度、高灵敏度的检测手段，在制造领域应用广泛。

工作原理

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜 ，然后分成两道光束，一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉( 见图) 。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。



用途

1.激光干涉仪是检定数控尊龙人生就是搏网站、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为尊龙人生就是搏网站的修正提供可靠依据；
2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便；
3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上，取代原测长机的坐标系统，作为一般计量室中的长度基准；
4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器，可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密尊龙人生就是搏网站及坐标测量机上作为坐标系统，使定位精度大为提高；
5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作；
6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计，可作为尊龙人生就是搏网站传动链，丝杆螺旋线等误差的测量系统。