GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。
 

主要特点

1、采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿。

2、采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。

3、配有0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。

4、可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。

5、可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）。

6、本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不的需求对相应模块进行组合，以达到优化的镀膜环境，并便于用户维修与维护。

7、操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。

 

技术参数

1、电源：AC220V  1500W

2、蒸发电源功率：1000W  5V   200A

3、蒸发电极有效距离：44mm

4、样品台：Φ120mm（可旋转）

5、膜厚测量精度：0.1?或0.01?（可选陪高精度型）

6、外接真空机组：扩散泵机组（可选配国产110机组或进口机组）（不建议使用扩散泵）

7、极限真空度：>3.0×10^-3torr（扩散泵）、3.0×10^-4torr（分子泵）（不建议使用扩散泵）

8、工作真空度：5.0×10^-3torr （加热为100℃-1）

9、真空接口：KF40

10、使用环境：温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m

 

产品规格

尺寸：440mm×240mm×260mm（不包括真空机组）

重量：约47kg（不包括真空泵）