美国AALBORG气体质量流量计_气体流量计aalborg_盛霞供 /美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器 美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上 的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、尊龙人生就是搏网站、医药、环保等领域。 产品特点： 、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器 典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。 设计特点： －刚性金属结构 －流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm －最大压力500psig（34.5Bar） －泄漏率1＊10-7氦气 －NIST系统标定可追踪的证明 －可倾斜的LCD读表 －0-5Vdc或4-20mA信号输出 －电路保护 －可用作便携式的设备 －0到100％比例显示 －可配备流量计算机 精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。 重复性：±0.5％满量程 回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒 温度系数：0.15％满量程／℃ 压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar） 气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃） 输出信号：0-5Vdc， 1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 传感器输出：＋12Vdc； 200Ω。＋24Vdc可选 时间恒量：800ms 气体压力： 1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar） 流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环 B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。 方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置 连接：GFC17和37：1／4"卡套螺纹VCR?或1／8"卡套可选（GFC17） GFC47：3／8"卡套螺纹 GFC57：3／8"卡套螺纹 GFC67：1／2"卡套螺纹 GFC77：3／4"卡套螺纹 VCR?或3／4"卡套可选（GFC77）‘’ 公司名称：上海盛霞光电科技有限公司 固定尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站电话：021-32190091 在线QQ：1849713424 联系方式：18964352848 公司邮箱:company@公司官网：