碳化硅悬臂浆，是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨，主要规格2378毫米，2550毫米，2660毫米等

碳化硅悬臂浆性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备 规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD， 地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物。

厂家定制悬臂浆

厂家定制悬臂浆，应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用。 反应烧结碳化硅

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山东尚美新材料科技有限公司是一家专业从事反应烧结碳化硅陶瓷，氮化硅，复合材料制品的企业，公 司成立于2016年2月，占地60余亩， 3800多万元，年生产能力600吨，生产技术和设备均达到世 界 。 反应烧结碳化硅主要产品有：横梁、棍棒、喷火嘴、冷风管、热电偶保护管、辐射管、脱硫喷嘴、耐磨 衬材、耐磨耐腐蚀叶轮、喷砂嘴、棚板、匣钵、交换器、密封件及各种异形件。该产品具有高强度，高 耐磨，耐高温，耐急冷急热，耐酸碱腐蚀，抗氧化，导热和抗热震性好，抗高温蠕变等性能和特点。