Inficon英福康真空计  BPG402型皮拉尼真空计探头354-494

 

INFICON B-A型皮拉尼复合真空计, BPG402-S,将两个真空计复合在一个小型单元中,测量范围从5 x 10-10毫巴至大气压(3.8 x 10-10乇至大气压).复合技术降低了安装,设置和集成的复杂性.带两根涂敷氧化钇的铱灯丝的BPG402-S用于可及的和可再现的过程,在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量.传感元件和在机校准数据保证当更换传感器时的高度再现性.

 

Inficon英福康真空计  BPG402-S B-A型皮拉尼真空计优势

 

极宽的测量范围从5 x 10-10毫巴至大气压(3.8 x 10-10乇至大气压)

过程压强范围从10-8… 10-2 毫巴, 的再现性5%

皮拉尼联锁保护防止灯丝过早烧毁

两根涂敷氧化钇的长寿命铱灯丝

可选图形显示器和现场总线接口,例如以太网

自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预

易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性

RoHS兼容性

 

Inficon英福康真空计  BPG402-S B-A型皮拉尼真空计用途

 

在半导体过程和传送室中的压强测量

工业镀膜

在低至 真空范围内的一般真空测量和控制

 

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