MKS 901P真空计
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产品详情
“MKS 901P真空计”参数说明
| 品牌： | MKS | 加工定制： | 否 |
| 类型： | 真空压力表 | 构造： | 真空传感器 |
| 用途： | 工业用 | 联接型式： | 随意安装 |
| 测量范围： | 中压表 | 显示方式： | 数字压力表 |
| 测量精确度： | 精密压力表 | 指示压力的基准： | 一般压力表 |
| 使用功能： | 带尊龙人生就是搏网站号控制型 | 精度等级： | 0.25级 |
| 环境温度： | 常温 | 型号： | 901P |
| 规格： | 真空计 | 商标： | MKS |
| 包装： | 可回收塑料包装盒 | MKS： | 真空计 |
| 产量： | 100000 |
“MKS 901P真空计”详细介绍
901P系列真空计（传输腔LLT专用的MlcroPirani/Piezo差压式真空传感器）
有CE标记的901P系列传输腔(LLT)专用的差压式真空传感器是压电传感器和Pirani传感器的组合，它具有集成的电子控制线路、数字通讯系统、模拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点。半导体设备通常都将真空锁作为持续抽空主反应腔室的界面。这些真空锁常被很快的被抽到真空状态，而传统Pirani测量计的响应时间较慢，会对它造成损坏。当真空锁处于大气压时，要使用一个独立的开关来指示表示什么时候开启阀门。HPS的901P系列真空锁传感器(LLT)结合了一个真空测量计（MlcroPirani）和一个常压开关（压电），形成一个集成的，紧凑的组件。压电测量计是一个差分压力传感器，它能在各种不同的气候和海拔外部压力环境下正常工作，这样就能保护真空锁的阀门会在 时间打开。它的快速响应时间和广的测量范围为设备设计人员提供了 的灵活性。
901P系列真空计主要参数：
测量范围： 1.0*10-5Torr至1500Torr 差分 -760至+760Torr
设定范围：5.0*10-4 Torr至1000Torr 差分 -760至+100Torr
精度：①微皮拉尼5x10-4至1X10-3Torr ±10%读数 1x10-3至100Torr ±5%读数 100Torr至大气压 ±25%读数 ②压差传感器 -10至+10Torr ±10%读数 -100至-10Torr ±8%读数 -760至-100Torr ±1%读数 +10to100Torr ±5%读数
重复性：①微皮拉尼1x10-3至100 Torr ±2%读数 ②压差传感器-760至+10Torr ±1%读数
零点稳定性：±0.1%满量程(F.S.=760Torr)
电源要求：9 to 30 VDC,<1.2W
有CE标记的901P系列传输腔(LLT)专用的差压式真空传感器是压电传感器和Pirani传感器的组合，它具有集成的电子控制线路、数字通讯系统、模拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点。半导体设备通常都将真空锁作为持续抽空主反应腔室的界面。这些真空锁常被很快的被抽到真空状态，而传统Pirani测量计的响应时间较慢，会对它造成损坏。当真空锁处于大气压时，要使用一个独立的开关来指示表示什么时候开启阀门。HPS的901P系列真空锁传感器(LLT)结合了一个真空测量计（MlcroPirani）和一个常压开关（压电），形成一个集成的，紧凑的组件。压电测量计是一个差分压力传感器，它能在各种不同的气候和海拔外部压力环境下正常工作，这样就能保护真空锁的阀门会在 时间打开。它的快速响应时间和广的测量范围为设备设计人员提供了 的灵活性。
901P系列真空计主要参数：
测量范围： 1.0*10-5Torr至1500Torr 差分 -760至+760Torr
设定范围：5.0*10-4 Torr至1000Torr 差分 -760至+100Torr
精度：①微皮拉尼5x10-4至1X10-3Torr ±10%读数 1x10-3至100Torr ±5%读数 100Torr至大气压 ±25%读数 ②压差传感器 -10至+10Torr ±10%读数 -100至-10Torr ±8%读数 -760至-100Torr ±1%读数 +10to100Torr ±5%读数
重复性：①微皮拉尼1x10-3至100 Torr ±2%读数 ②压差传感器-760至+10Torr ±1%读数
零点稳定性：±0.1%满量程(F.S.=760Torr)
电源要求：9 to 30 VDC,<1.2W
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