高温蒸镀仪郑州科探仪器
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产品详情
“高温蒸镀仪郑州科探仪器”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 郑科探 |
| 品牌： | 郑科探 | 加工定制： | 是 |
| 电源： | 1 | 工作电压： | 1 |
| 外形尺寸： | 1 | 重量： | 1 |
| 型号： | Kt-z1650CVD | 商标： | 郑科探 |
| 产量： | 999 |
“高温蒸镀仪郑州科探仪器”详细介绍
高温蒸镀仪，KT-Z1650CVD，石英＋不锈钢腔体，触摸屏控制，工艺储存功能，自动电控挡板保护样品
在厚度为2nm (20埃)或厚时膜是连续的。通常的沉积形式是加热碳或石墨棒。棒具有特定的形状以达到最大电流密度，使得它具有足够的温度来引起蒸发。基于这点，出现了细小的、亮的、热的碳颗粒。此系统需要用扩散泵或涡轮分子泵达到1x10-4 mbar或高的真空度。
涡轮分子泵在K950X中作为标准配置，此泵作为机械真空泵的后级泵，真空为全自动控制，真空度 1x10-5 mbar。可进行预热及除气控制，同时用瞬时蒸发开关使脉冲蒸发在用户控制下进行。
标准的旋转样品台可进行倾斜调节，非常容易适应各种样品座。
高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
| 控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 加热方式 |
数字式功率调整器 |
| 镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 最大功率 |
≤1200W |
| 最大输出电压电流 |
电压≤12V 电流≤120A |
| 真空度 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
| 挡板类型 |
电控 |
| 真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
| 样品台 |
可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） |
| 样品台转速 |
8转/分钟 |
| 样品蒸发源调节距离 |
70-140mm |
| 蒸发温度调节 |
≤1800℃ |
| 支持蒸发坩埚类型 |
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
| 预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
| 可选配扩展 |
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
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