桌面式高温蒸镀仪郑科探
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产品详情
“桌面式高温蒸镀仪郑科探”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 郑科探 |
| 品牌： | 郑科探 | 加工定制： | 是 |
| 产品适用范围： | 1 | 测量范围： | 1 |
| 电源： | 11 | 工作电压： | 1 |
| 外形尺寸： | 1 | 重量： | 1 |
| 型号： | Kt-z1650CVD | 规格： | 1 |
| 商标： | 郑科探 | 产量： | 999 |
“桌面式高温蒸镀仪郑科探”详细介绍
桌面式高温蒸镀仪
小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法，以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流，进入基材或基材表面，然后凝结成固体膜。
小型蒸镀仪包括以下基本过程：
（1）加热蒸发过程：包括从冷凝相变为气相的过程，并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
（2）气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输，即原子或分子在周围大气中的飞行过程。
（3）蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即，蒸发，冷凝，成核，成核生长，形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度，因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。
特点
● 全自动抽气系统
● 旋转样品台
● 菜单驱动式“用户”键盘输入
● 快速释放头方便选择不同的头
● 约束的排气控制
桌面式高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
| 控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 加热方式 |
数字式功率调整器 |
| 镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 最大功率 |
≤1200W |
| 最大输出电压电流 |
电压≤12V 电流≤120A |
| 真空度 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
| 挡板类型 |
电控 |
| 真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
| 样品台 |
可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） |
| 样品台转速 |
8转/分钟 |
| 样品蒸发源调节距离 |
70-140mm |
| 蒸发温度调节 |
≤1800℃ |
| 支持蒸发坩埚类型 |
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
| 预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
| 可选配扩展 |
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
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