小型高温蒸镀金属制备气相沉积反应设备
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- 郑州科探仪器设备有限公司裴勇 先生
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产品详情
“小型高温蒸镀金属制备气相沉积反应设备”参数说明
| 型号： | Kt-z1650CVD | 规格： | 台 |
| 商标： | 郑科探 | 包装： | 木箱 |
| 最大功率： | ≤1200W | 样品台： | 可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） |
| 最大输出电压电流： | 电压≤12V 电流≤120A | 产量： | 99 |
“小型高温蒸镀金属制备气相沉积反应设备”详细介绍
小型高温蒸镀金属制备气相沉积反应设备，小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD，台式设计、软件自动操控、，非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。
.
原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易化 越接近金属本色
小型高温蒸镀金属制备气相沉积反应设备KT-Z1650CVD
| 控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 加热方式 |
数字式功率调整器 |
| 镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 大功率 |
≤1200W |
| 大输出电压电流 |
电压≤12V 电流≤120A |
| 真空度 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
| 挡板类型 |
电控 |
| 真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
| 样品台 |
可旋转φ62 （大可安装φ50基底） |
| 样品台转速 |
8转/分钟 |
| 样品蒸发源调节距离 |
70-140mm |
| 蒸发温度调节 |
≤1800℃ |
| 支持蒸发坩埚类型 |
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
| 预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
| 可选配扩展 |
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
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