1 电子 输出功率稳定，特殊结构设计有效杜绝二次电子的产生和电子 打火。
2 转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠。
3 工件转动座多重水冷和重力导向设计，运转平稳可靠，径向和轴向跳动3-5mm。
4 采用PLC+触摸屏控制, 多重泵阀水电互锁互保护，可全程自动控制,包括真空系统,烘烤系统,整个蒸发镀膜过程。 
5 安装采用全程四极质谱监控和氦质谱检漏, 真空密封性好, 设备工艺稳定可靠。
6 所有零部件采用国内 厂家, 电器元件采用进口或合资企业产品, 设备24小时连续长期运行可靠稳定。

1. 型号：zzs1300

2. 外形尺寸：3900*4050*2950mm

3. 重量：4000kg

4. 立式前开门结构，不锈钢真空室Φ1300X1500mm

5. 极限真空：1×10-4Pa（空载清洁真空系统，300°烘烤后）
6. 恢复真空时间：大气至4×10-3Pa≤15min。
7. 大抽速主泵，KT-630型扩散泵（18000L/s）两台，配备防湍流装置。
8. 工件转动：采用磁流体密封转动装置，转动座多重水冷和重力导向设计，运转平稳可靠。
9. 工件烘烤：桶状上烘烤,三点控温,烘烤温度可达350°。
10. 永磁E型电子 ， 功率10KW/支；可配置单 或双 ，多穴坩埚和环形坩埚。 
11. 配备美国Inficon公司生产的SQC310C 或IC6型石英晶体膜厚控制仪。
12. 统、烘烤系统、工件转动系统、膜厚监控系统等进行监测和控制，可采用自动和手动两种模式。

13. 可选配Φ16CM的离子源或深冷低温冷阱。

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地    址：广东东莞市茶山镇黄岭路62号