工厂出售 Nidek FT-17 晶片平坦/翘曲度测量仪
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产品详情
“工厂出售 Nidek FT-17 晶片平坦/翘曲度测量仪”参数说明
是否有现货: | 是 | 自动化程度: | 电动 |
新旧程度: | 8成新 | 作用对象: | 玻璃 |
控制形式: | 人工 | 型号: | Ft-17 |
规格: | Ft-17 | 商标: | Ft-17 |
“工厂出售 Nidek FT-17 晶片平坦/翘曲度测量仪”详细介绍
Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
此外,它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。
Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
FT-17 Series |
FT-900 Series |
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无解析 无显示 |
带解析 |
带解析 (V2规格) |
无解析 无显示 |
带解析 |
带解析 (V2规格) |
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测定方法 |
光波干涉方式(斜入射) |
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光源 |
半导体激光(655nm、3mW) | He-Ne激光(632.3A、5mW) | ||||
样本尺寸 |
直径130mm以下 (平坦度测定100mm以下) |
直径200mm以下 | ||||
样本厚度 |
2000um以下(根据测量承载台不同,最大可达10mm),其他厚度需客户另行协商 |
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样本种类 |
Wafer(Si、化合物、酸化物、玻璃)、金属片、硬盘(铝、玻璃)等镜面和非镜面(反射率低的非镜面不可测试) | |||||
样本倾斜角度 |
垂直方向倾斜8度 | 垂直或垂直方向倾斜8度 | ||||
干涉计设定敏感度 |
1、2、3、4、5u/纹理(下底面基准时只有1、2um/纹理,且厚度1mm以上时1um/纹理) | |||||
测定范围 |
纹理敏感度30倍(根据纹理状况以及测试镜头倍率关系,有时不能达到30倍) | |||||
摄影镜头倍率 |
3倍以上 | |||||
显示分解能 |
0.01um | 0.01um | ||||
重复精度 Repeatability:1б |
0.02S+0.02M(um) 条件:样本设定后连续测试 S:纹理敏感度 M:测定值 |
0.02S+0.02M(um) 条件:样本设定后连续测试 S:纹理敏感度 M:测定值 |
测试项目
吸附:GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID
非吸附:BOW、SORI、整体应力、局部应力
可测试晶片种类
切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等
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