晶圆手动揭膜台
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产品详情
“晶圆手动揭膜台”参数说明
品牌: | rockimg |
“晶圆手动揭膜台”详细介绍
晶圆手动揭膜台基本介绍
设备为台式设备,采用手动芯片剥膜方式;
? 适用已经减薄过需要返工的6/8英寸普通圆片和6/8英寸TAIKO圆片的脱模工艺
? 可适用普通圆片厚度:100um--300um
? 可适用的TAIKO片边缘厚度:600um--700um,中心厚度:70um--120um
? 适用膜宽度≤ 230mm 的双层膜UV膜或者单层蓝膜;
? 设备可选配三个工作台面:6/8英寸普通台面、6英寸TAIKO台面、8英寸TAIKO台面
? 工作台面采用抗静电特氟龙处理,具有真空吸附产品功能;
? 工作台面具有加热功能,最高温度70℃
? 台盘真空孔均匀分布
晶圆手动揭膜台使用说明
本机适合晶圆减薄后,手动移除保护膜(BG膜);可适用蓝膜、或者解胶后的UV膜。
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