CVD气相沉积炉化学气相沉积炉应用领域化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳 气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。化学气相沉积炉产品规格产品型号/规格W×H×L(mm) 600*600*1000 800*800*1200 1000*1000*1500 1200*1200*2500 1500*1500*3000 2500*2000*3600 装载重量(KG) 350 800 1500 2500 5000 10000 最高温度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500 1500 温度均匀性(℃) ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10 ±15 加热功率(kw) 250 360 480 600 900 1200 极限真空度(Pa) 20 20 20 20 20 20 压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。化学气相沉积炉主要配置炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC 加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产真空泵和真空计---进口/国产 PLC：欧姆龙/西门子控温仪表：日本岛电/英国欧陆 热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机电器元件：正泰/施耐德/西门子料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车化学气相沉积炉技术特征本化学气相沉积炉 工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。