Chroma/致茂台湾7940检测系统
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产品详情
“Chroma/致茂台湾7940检测系统”参数说明
型号: | 7940 | 规格: | 7940 |
商标: | 7940 | 包装: | 7940 |
“Chroma/致茂台湾7940检测系统”详细介绍
Chroma/致茂台湾7940晶圆检测系统特色:
- 可同时检测正反两面晶圆
- 可检测6吋扩膜晶圆(检测区域达8吋范围 )
- 可因应不同产业的晶粒更换或新增检测项目
- 上片后晶圆自动对位机制
- 自动寻边功能可适用于不同形状之晶圆
- 瑕疵规格编辑器可让使Chroma/致茂台湾7940晶圆检测系统用者自行编辑检测规格
- 瑕疵检出率高达98%
- 可结合上游测试机晶粒资料,合并后上传至下一道制程设备
- 提供检测报表编辑器,使用者可自行选择适用资料并进行分析
Chroma 7940晶圆检测系统为自动化切割后晶粒 检测设备,使用 的打光技术,可以清楚的辨 识晶粒的外观瑕疵。结合不同的光源角度、亮度 及取像模式,使得7940可以适用于LED、雷射二 极体及光敏二极体等产业。
由于使用尊龙人生就是搏网站相机以及自行开发之检测演算法, 7940可以在3分钟内检测完6吋LED晶圆,换算 为单颗处理时间为15msec。7940同时也提供了 自动对焦与翘曲补偿功能,以克服晶圆薄膜的 翘曲与载盘的水平问题。7940可配置2种不同倍 率,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择检测倍率。 系统搭配的 解析度为0.5um,一般来说,可 以检测1.5um左右的瑕疵尺寸。
系统功能
在扩膜之后,晶粒或晶圆可能会产生不规则的 排列,7940也提供了搜寻及排列功能以转正晶 圆。此外,7940拥有人性化的使用介面可降低 学习曲线,所有的必要资讯,如晶圆分布,瑕疵 区域,检测参数及结果,均可清楚地透过使用者 介面(UI)呈现。
瑕疵资料分析
所有的检测结果均会被记录下来,而不仅只是 良品/不良品的结果。这有助于找出一组 参 数,达到漏判与误判的平衡点。提供瑕疵原始原 始资料亦有助于分析瑕疵产生之趋势,并回馈给 制程人员进行改善。
Applications
LED Top Side Defects | |
- Pad Defect - Pad Residue - ITO Peeling - Finger Broken Front side image with co-axis light |
- Mesa Abnormality - Epi Defect - Chipping - Chip Residue Front side image with ring light |
LED Back Side Defects | |
- Dicing Abnormality - Pad Bump Back side image with co-axis light |
- Chipping - Metal Lack Back side image with ring light |
VCSEL Top Side Defercts | |
- Pad Defect - Pad Scratch - Emitting Area Defect - Peeling Front side image with co-axis light |
- Mesa Abnormality - Epi Defect - Chipping - Chip Residue Front side image with ring light |
VCSEL Back Side Defects | |
- Dicing Abnormality - Pad Bump - Chipping - Metal Lack Back side image with ring light |
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