东莞深圳 坂/KOSAKA台阶仪ET200基本介绍

KOSAKA LAB ET 200
微细形状测定机（探针接触式台阶仪）
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本 家发表光学
杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体
部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
设备特点：
KOSAKA ET 200 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半
导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、
薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高
精度表面形貌分析应用。ET 200 能 可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨
损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD
原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态， 方便准确的定位测试区域。
ˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉ
规格


一、测定工件：
1. 工件尺寸：φ160mm
2. 工件厚?0?3：50mm
3. 工件重量：2kg
二、检出器（pick up ）：
方向测定范围：Max. 600μm
方向分解能：0.1nm
3. 测定?0?7： 10uN ~500uN
4. 触针半径：2 μm 60 °
5. 驱动方式：直动式
6. 再现性：1σ= 1nm(全量程)、1um以下台阶重现性可达0.2nm以下
三、X 轴 ( 基准轴) ：
1. 移动量(测长)：100mm
2. 移动的真直?0?3：0.2μm/100mm
3. 移动,测定速?0?3：0.005~20mm/s
4. 线性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z 轴：
1. 移动量：50mm
2. 移动速度：max.2mm/S
3. 检出器自动停止机能
4. 位置决定分解能：0.1μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 机械手动倾斜: ±2 ° ( ±1mm /150mm)
?0?7 、工件观察：max.135 倍(可选购其它高倍?0?7CCD)
七、床台：材质为花岗岩石
八、防振台( 选购)：?0?5地型或桌上型
九、电源：AC220V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本体外观尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg
(?0?3含防震台

东莞深圳 坂/KOSAKA台阶仪ET200性能特点

KOSAKA LAB ET 200
微细形状测定机（探针接触式台阶仪）
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本 家发表光学
杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体
部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
设备特点：
KOSAKA ET 200 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半
导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、
薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高
精度表面形貌分析应用。ET 200 能 可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨
损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD
原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态， 方便准确的定位测试区域。
ˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉ
规格


一、测定工件：
1. 工件尺寸：φ160mm
2. 工件厚?0?3：50mm
3. 工件重量：2kg
二、检出器（pick up ）：
方向测定范围：Max. 600μm
方向分解能：0.1nm
3. 测定?0?7： 10uN ~500uN
4. 触针半径：2 μm 60 °
5. 驱动方式：直动式
6. 再现性：1σ= 1nm(全量程)、1um以下台阶重现性可达0.2nm以下
三、X 轴 ( 基准轴) ：
1. 移动量(测长)：100mm
2. 移动的真直?0?3：0.2μm/100mm
3. 移动,测定速?0?3：0.005~20mm/s
4. 线性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z 轴：
1. 移动量：50mm
2. 移动速度：max.2mm/S
3. 检出器自动停止机能
4. 位置决定分解能：0.1μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 机械手动倾斜: ±2 ° ( ±1mm /150mm)
?0?7 、工件观察：max.135 倍(可选购其它高倍?0?7CCD)
七、床台：材质为花岗岩石
八、防振台( 选购)：?0?5地型或桌上型
九、电源：AC220V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本体外观尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg
(?0?3含防震台

东莞深圳 坂/KOSAKA台阶仪ET200技术参数

 

东莞深圳 坂/KOSAKA台阶仪ET200使用说明

 

东莞深圳 坂/KOSAKA台阶仪ET200采购须知