（1）应用领域

计量领域（平面平晶检测），

半导体工业（晶片检测），

大平板显示（平面检测），

手机工业（背板检测）,

光学加工（窗口玻璃检测），

高精度精密机械（平面元件检测）,

LED工业（蓝宝石衬底检测），

数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。

平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等 光滑表面面形的高精度快速测量，90°直角棱镜和角锥测量。

 

                                                              （2） 产品综述

无应力平面检测干涉仪是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，

它采用组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于 检测高精度平面。

该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等 模块，主要技术指标已达到国际水平, 采用 加简便操作的俯式测量，拥有 的 测量精度和 测量重复性，

突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。 不仅测量精度高，而且具有 的测量效率。

此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、

航空 、 、微电子、能源等众多领域 具有广阔的市场前景。

 

                                                            （3） 参数性能

测量原理：

斐索干涉原理

光源波长：

632.8nm

样品准直：

使用两个光点

电源:

220V 50HZ /11 0V 60HZ

操作系统：

Windows7/10, 32/64bit

CCD分辨率：

1280*960像素

软件：

H&L-p数字化相移分析软件

精密度：

/600 PV

重复性：

入/500 PV

重复性：

入/1000 RMS

透射平面镜精度：

A/20 PV