高精度Bruker光学轮廓仪/白光干涉仪GT-K
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产品详情
“高精度Bruker光学轮廓仪/白光干涉仪GT-K”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | ISO9000 |
| 加工定制： | 是 | 类型： | 白光干涉仪 |
| 品牌： | 美国 Bruker | 品种： | 白光干涉 |
| 测量范围： | 300mm以内晶圆，高10mm | 测量分辨率： | 0.1nm |
| 最近工作距离： | N | 用途： | 较大范围样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓 |
| 型号： | GT-K | 规格： | N |
| 商标： | N | 包装： | N |
| 产量： | 10 |
“高精度Bruker光学轮廓仪/白光干涉仪GT-K”详细介绍
应用： 对 LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等 ，提供全方位非接触式测量方案，样品从小至微米级别的微机电器件（ MEMS ），大到整个引擎部件，都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等 数据
参数： XY样品台： 150mm（6in）手动样品，样品台±6°倾斜调整 Z方向聚焦： 计算机自动控制聚焦 光学组件模块： 一代双LED照明电源； 自动视场目镜转台；自动滤波片切换 ； 物镜：可共焦物镜：2.5X，5X，10X，20X，50X；100X； 长焦物镜：1X，1.5X，2X，5X，10X； 物镜搭台：单物镜适配器或 四位置自动塔台 ； 处理器：多核， Windows? 7.0 ； 系统软件： Vision64 操作和分析软件； 可选分析软件： MATLAB?, SureVision, TCP/IP Control, ThickFilm, Annular, Optical 其他自动化：标准自动光强设定；标准摄像头自动聚焦 校准：手动，使用可追溯标准样品； Z 方向扫描范围 ： 0.1nm 至 10mm 最大扫描速度 ： 28.1?m/sec 样品重量 ： 4.5kg (10lbs) 垂直方向分辨率 ： <0.1nm RMS 重复性 ： 0.01nm 反射率 ： <0.01 to 台阶高度测量：不确定度：0.75%； 重复性：<0.08% 1σ
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