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VF2200-2030 2200℃碳化硅纯化炉设备介绍 晶体高温生长炉

1. 开炉取料型式：立式下出料

2. 主要技术参数

有效温区尺寸	Φ300×400mm	坩埚外径尺寸
加热器	石墨板式（主加热器+下补偿加热器）	东海碳素G330
隔热屏材料	高纯石墨化软毡+硬毡	吴羽化学R100
装炉量	300Kg
温度	2200℃
工作温度	2100℃	1500℃测温环测温
加热功率	135KVA
升温速率	0~20℃/min（可调）
控温精度	±0.1％ F S
极限真空度	5x10-3Pa
工作真空度	5x10-2Pa
压升率	＜0.5Pa/h
工艺气氛	真空/氩气	单气路质量流量计
炉内压力	压力0.02Mpa	充气压力0.05Mpa

 

 

3. 结构说明

该设备包含炉体、支撑炉体的架台组件、炉门锁紧机构、炉门升降机构、真空系统、热场、温度测量与控制系统、尊龙人生就是搏网站控制系统、冷却水系统、压缩空气系统以及工艺气氛系统。

VF2200-2030 设备简介使用说明

安全系统包括：停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。

VF2200-2030 采购须知

1、质保期从双方指定的验收代表签署验收报告之日开始12个月，或者从产品到达需方现场之日起13个月，以 到达的一个时间为准。
2、易损件，例如热电偶、真空规管、发热体、熔断器、密封件、包装、垫片、润滑油、有机溶剂，不属于保修范围。
3、供方对零部件自然损耗引起的损失没有责任，对需方不正当的操作而引起损坏不承担责任，对需方改变设备的用途或处理不恰当的材料，使用非供方提供的硬件或软件而引起损坏不承担责任；其它与供方无关的影响而造成的损坏也不在供方责任范围之列。
4、严格执行国家相关产品质量要求，易损件除外，终身维修（维修按本公司有关规定或有关协议）。
5、在接到需方设备故障通知后，供方4小时内尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站电话响应，48小时内到现场处理问题。