青岛晨立电子有限公司生产的炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中罐式热壁系

统的加热装置。分为卧式、立式两种。


炉体参数：
工作温度：≤1300℃ 
恒温区长度：500mm-1000mm 
炉体内径：Φ90～Φ360　mm（3～12英寸） 
规范使用：寿命可达20个月以上（1200℃） 
替代进口：全方位配套 
应用： 
　   青岛晨立电子有限公司生产的加热炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外 的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。