MOVPE设备 等离子体辅助MOCVD
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产品详情
“MOVPE设备 等离子体辅助MOCVD”参数说明
是否有现货: | 否 | 品牌: | 那诺-马斯特/nano-master |
适用范围: | 医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药 | 分类: | 实验室仪器 |
类目: | Movpe设备 | 型号: | Nmc-4000 |
规格: | 台 | 商标: | Nano-master |
包装: | 原厂 |
“MOVPE设备 等离子体辅助MOCVD”详细介绍
MOVPE设备概述:
MOVPE,也就是大名鼎鼎的MOCVD(金属有机物化学气相沉积), 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空),完全的互锁。
目前,NANO-MASTER(那诺-马斯特)的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
MOVPE设备型号:
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台式系统
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5个带独立冷却槽的起泡器
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加热的气体管路
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950 °C样品台,2"晶圆片
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3个气体环
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RF等离子源,带淋浴头气体分布
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工艺完成后N2自动冲洗
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极限真空5x10-7Torr
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250 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
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通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
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菜单驱动,4级密码访问控制
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完整的联锁
MOVPE设备配置:
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独立系统
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14"不锈钢立方体腔体
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1次在8"样品台上处理1个6"晶圆片或在12"样品台上处理5片4"片子
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加热的气体管路
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RF等离子源,自动调谐
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淋浴头气体分布
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1100°C的旋转样品台
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N2冲洗
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手动或自动的晶圆片上下载
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可以兼容到集群配置中
MOVPE设备应用:
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3到5族半导体层
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蓝色发光二极管
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激光二极管
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紫外-可见光谱光电中的氮化铟纳米棒
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3D或2D材料中的二硫化钼、氮化硼、石墨烯
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