刻蚀设备 全自动反应离子刻蚀机
- 买家还在看 -
联系信息
- 张 先生
- 尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站电话: 查看尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站电话号码
- 尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站地址: 香港特别行政区 中西区 香港湾仔骆克道89号湾仔中汇大厦4楼401室
产品详情
“刻蚀设备 全自动反应离子刻蚀机”参数说明
是否有现货: | 否 | 品牌: | 那诺-马斯特/nano-master |
适用范围: | 医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药 | 分类: | 实验室仪器 |
类目: | 刻蚀设备 | 型号: | Nre-3500(a) |
规格: | 台 | 商标: | Nano-master |
包装: | 原厂 |
“刻蚀设备 全自动反应离子刻蚀机”详细介绍
NRE-3500(A)全自动反应离子刻蚀机概述:独立式RIE反应离子刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13"的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2"的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持至大到12"的晶圆片。腔体为超净设计,并且根据配套的真空泵可以达到10-6 Torr 或小的极限真空。该系统系统可以在20mTorr到8Torr之间的真空下工作。真空泵组包含一个节流阀,一个250l/s的涡轮分子泵,滤网过尊龙人生就是搏网站,以及一个10cfm的机械泵(带Formblin泵油).RF射频功率通过600W,13.56MHz的电源和自动调谐器提供。系统将持续监控直流自偏压,该自偏压可以高达-500V.这对于各向异性的刻蚀至关重要。
NRE-3500(A)全自动反应离子刻蚀机是基于PC控制的全自动系统.系统真空压力及DC直流偏压将以图形格式实时显示,流量及功率则以数字形式实时显示.系统提供密码保护的四级访问功能:操作员级、工程师级、工艺人员级,以及维护人员级.允许半自动模式(工程师模式)、写程序模式(工艺模式), 和全自动执行程序模式(操作模式)运行系统。基于全自动的控制,该系统具有高度的可重复性。
NRE-3500(A)全自动反应离子刻蚀机产品特点:
-
铝质腔体或不锈钢腔体
-
不锈钢立柜
-
能够刻蚀硅的化合物(~400? /min)以及金属
-
典型的硅刻蚀速率,400 ?/min
-
高达12"的阳极氧化铝RF样品台
-
水冷及加热的RF样品台
-
大的自偏压
-
淋浴头气流分布
-
极限真空5x10-7Torr,20分钟内可以达到10-6Torr级别
-
涡轮分子泵
-
至多支持5个MFC
-
无绕曲气体管路
-
自动下游压力控制
-
双刻蚀能力:RIE以及PE刻蚀(可选)
-
终点监测
-
气动升降顶盖
-
自动上下载片
-
预真空锁
-
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
-
菜单驱动,4级密码访问保护
-
完全的联锁
-
可选ICP离子源以及低温冷却样品台,用于深硅刻蚀
NRE-3500(A)全自动反应离子刻蚀机产品型号:
-
NRE-4000:基于PC计算机全自动控制的独立式系统,占地面积26“D x 44"W
-
NRE-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统,占地面积26“D x 26"W
-
NRE-3000:基于PC计算机全自动控制的台式系统,占地面积26“D x 26"W
-
NRP-4000:RIE/PECVD双系统
-
NDR-4000:深RIE刻蚀(深硅刻蚀)系统
查看更多产品> 向您推荐
内容声明:您在尊龙人生就是搏网站采购商品属于商业贸易行为。以上所展示的信息由卖家自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布卖家负责,请意识到互联网交易中的风险是客观存在的。
价格说明:该商品的参考价格,并非原价,该价格可能随着您购买数量不同或所选规格不同而发生变化;由于尊龙人生就是搏网站不提供线上交易,最终 格,请咨询卖家,以实际 格为准。