真空气相沉积设备是一种用于电子产品防水保护的镀膜设备。工作时把含有构成薄膜元素的化合物（长链性高分子材料，一般为派瑞林Parylene）、单质气体经过升华、热解后进入放置产品的真空反应室，借助空间气相化学反应, 在产品表面上沉积生成0.1-100um的厚度均匀，无应力、优异的电绝缘性和防护性、防潮、防霉、防腐、防盐雾的薄膜涂层。

 

广泛应用于：航空航天、电路板、LED 、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、医疗器械、珍贵 等领域产品的防水封装与保护工艺中。

50. 直径0.5米不锈钢真空反应罐，坚固耐用，镀膜速度快。
50. 机台一体式设计，结构紧凑，占地小。
50. 真空管路采用不锈钢连节，方便维护及保养。
50. 侧开式门设计便于取放产品与腔体清洁等维护作业。
50. 反应罐内置转盘机构使产品在镀膜过程中匀速旋转，镀层 均匀。
50. 使用数位LED真空计显示工作状况时的真空度。
50. 操作简易，可依实际需求变换自动 /手动操作模式。
50. 红外线加热圈，加温速度快。
50. 采用高精度温控装置多段控温，温控 。
50. 定时加热、超温报警和自动停止加热等保护功能
50. 自诊功能和各种故障报警。

选配远程控制和手机APP功能。

紧凑型側式真空氣相沉積設備基本介绍 真空氣相沉積設備是一種用於電子產品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經過昇華、熱解後進入放置產品的真空反應室，借助空間氣相化學反應, 在產品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，無應力、優異的電絕緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧的薄膜塗層。

廣泛應用於：航空航太、電路板、LED 、磁性材料、感測器、矽橡膠、密封件、醫療器械、珍貴 等領域產品的防水封裝與保護工藝中。

紧凑型側式真空氣相沉積設備性能特点

1. 直徑0.5米不銹鋼真空反應罐，堅固耐用，鍍膜速度快。
2. 機台一體式設計，結構緊湊，占地小。
3. 真空管路採用不銹鋼連節，方便維護及保養。
4. 側開式門設計便於取放產品與腔體清潔等維護作業。
5. 反應罐內置轉盤機構使產品在鍍膜過程中勻速旋轉，鍍層 均勻。
6. 使用數位LED真空計顯示工作狀況時的真空度。
7. 操作簡易，可依實際需求變換自動 /手動操作模式。
8. 紅外線加熱圈，加溫速度快。
9. 採用高精度溫控裝置多段控溫，溫控精確。
10. 定時加熱、超溫報 和自動停止加熱等保護功能
11. 自診功能和各種故障報 。
12. 選配遠程控制和手機APP功能。

紧凑型側式真空氣相沉積設備技术参数

設備總尺寸 ( 寬度 , 深度 , 高度 )

1170 mm x 1860 mm x 1970mm

反應罐體内尺寸

Ø500 mm x 600 mm

反應罐罐口尺寸

454 mm x 600 mm

輸入電壓

三相380 VAC / 50 Hz

設備最大功率

15 Kw

溫控分區

6

分解爐溫控範圍

室溫至700℃

昇華爐溫控範圍

室溫到150℃

原料門溫控範圍

室溫到250℃

製冷壓縮機功率

1000 W

製冷量

887 W

製冷溫度

-90℃

真空泵型號

2RH 030C

真空泵抽氣速率

30 m³

真空壓力

≤5 Pa

真空泵電機功率

1.1 KW (三相380VAC)

真空泵電機轉速

1420 R/Min

控制系統

10 ”人機介面，PLC 控制

遠程控制和APP

選配

紧凑型側式真空氣相沉積設備使用说明

 

紧凑型側式真空氣相沉積設備采购须知

價格面議