日本阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000
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产品详情
“日本阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000”参数说明
| 型号： | Mj-3000 | 商标： | 日本apollowave |
| 包装： | 原装进口 |
“日本阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000”详细介绍
日本阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000基本介绍
可以不需要液氮进行－180℃～＋100℃ 的高低温真空探针测试。
液体窒素不要！ 冷？加温真空チャンバ
MJ-3000は、半導体材料等の各特性を測定するための25mm 角ウェーハ対応のパルスチューブ冷凍機を実装した、小型軽量の冷？加温真空チャンバーです。液体窒素を用意する必要がなく、手軽に－180℃～＋100℃まで試料を温度可変することができます。また、外部操作型ポジショナーが搭載されていますので、真空中で自由に深針移動が可能です。
| ４深針の外部操作型ポジショナーを搭載し、大気開放せずに真空中で深針移動ができます。 | |
| 従来の装置と違い、加熱ステージとパルスチューブ冷凍機 ※ が搭載されており、液体窒素を用意する必要がなく、長時間の作業でも酸欠（酸素欠乏症）の心配がありません。 | |
| 試料を－180℃～＋100℃まで温度可変することができ、一定温度状態の試料測定が長時間可能となっています。 | |
| チャンバー上蓋はヒンジ開閉式で110°開きますので、試料へのアクセスがスムーズにできます。 | |
| ビューイングポート（回転式遮光蓋付属）が標準装備されており、光照射および顕微鏡を使用しての試料観測、探針移動、遮光に便利です。 |
※本装置搭載のパルスチューブ冷凍機は、従来型と違いコンプレッサーと一体型で省スペース、低振動、長寿命、低消費電力の冷凍機です。
日本阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000技术参数
| 温度ステージ部 | |
|---|---|
| 温度精度（ステージ温度） | ±１℃（ホールド状態） |
| 振動 | 約２μｍ以下 |
| 材料 | 銅（レーデント＜黒＞） |
| 寸法 | □33mm（接地タイプ） |
| 試料有効寸法 | □25mm |
| 温度範囲 | － 180℃～＋ 100℃（Max.） |
| センサー | PT100（4 線式） |
| ヒーター | セラミックスヒーター |
| 試料押え | ４個 |
| 真空チャンバー部 | |
|---|---|
| 真空度 | 10 － 2 Pa 以上（真空ポンプに依存します） |
| ビューポート | 石英ガラスφ 79 × t4mm（覗き有効径66 φ） |
| ポジショナーポート | 外部操作型用：４個 |
| 予備端子ポート | 1個 |
| リークバルブポート | 1/ ４" スウェージロック：1 個 |
| センサーポート | ICF34：１個 |
| ヒーターポート | ICF34：１個 |
| ゲージポート | NW25：１個 |
| 予備ポートえ | NW25：１個 |
| 真空引口 | NW40：１個 |
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