STP-603爱德华分子泵控制器维修
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产品详情
“STP-603爱德华分子泵控制器维修”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 品牌： | 爱德华edwards |
| 材质： | 不锈钢 | 用途： | 真空泵 |
| 泵轴位置： | 边立式 | 驱动方式： | 电动 |
| 原理： | 真空泵 | 转速(r/m)： | 35,000 rpm |
| 压力： | 1 X 10-9 torr | 工作压力： | 13 PA (10-10 torr) |
| 重量： | 31kg | 型号： | STP-603 |
| 商标： | Edwards | 包装： | 纸箱 |
“STP-603爱德华分子泵控制器维修”详细介绍
Edwards爱德华STP-603分子泵控制器维修
Edwards STP603 是新型的涡轮分子泵，可用于半导体应用。Edwards的转子技术可实现性能，的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。
应用
- 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和 化物）
- 电子回旋共振(ECR)刻蚀
- 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源，射束线泵送端点站
- MBE
- 扩散
- 光致抗蚀剂脱模
- 晶体/晶膜生长
- 晶片检查
- 负载锁真空腔
- 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
- 高能物理：射束线、加速器
- 放射线应用：融合系统、回旋
功能和优势
的转子技术
- 的制程灵活性
- 无油
- 低振动
- 高度可靠
- 免维护
控制器设计
- 自动调整
- 自行诊断功能
- 直流电机驱动
- 无电池运行
紧凑型设计
- 占地面积小
- 半机架控制器
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