成都真空设备厂家 Research-磁控溅射镀膜 共溅射直流射频兼容 磁控溅射系统 可定制
- 买家还在看 -
联系信息
- 胡 先生
- 尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站电话: 查看尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站电话号码
- 尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站尊龙人生就是搏网站地址: 四川省 成都市 龙泉驿区 车城西二路288号派瑞国际4栋5楼
产品详情
“成都真空设备厂家 Research-磁控溅射镀膜 共溅射直流射频兼容 磁控溅射系统 可定制”参数说明
材质: | 不锈钢 | 驱动方式: | 其它 |
原理: | 磁控溅射镀膜 | 产量: | 10 |
“成都真空设备厂家 Research-磁控溅射镀膜 共溅射直流射频兼容 磁控溅射系统 可定制”详细介绍
●该设备用于纳米级单层或多层膜、类金刚石薄膜、金属膜、导电膜、半导体膜和非导电膜等功能薄膜的制备,可实现共溅射,直流、射频兼容,特别适于科研院所和企业进行功能薄膜研发、教学和新产品开发,同时可在微米级粉末或颗粒上沉积薄膜进而达到表面改性的功能。是替代钟罩式磁控溅射的理想选择。
●主体结构:全封闭框架结构,机柜和主机为一体式机构。
●极限真空度:≤6.63×10-5Pa,压升率 。
●真空配置:尊龙人生就是搏网站直联旋片泵一台,配置尾气处理装置,超高分子泵一台。
●真空测量:两路电阻规,一路电离规;电阻规和电离规均采用防爆型金属封结真空规。
●工件架系统:行星工件盘与公转工件盘可选,垂直溅射与共溅射兼容,可配置1个加热台,采用PID控制可烘烤加热到700℃。
●磁控溅射系统:配置3个Φ50mm可折叠磁控靶(可扩展至4靶机构),向上溅射成膜;靶基距可调;靶内均通入冷却水冷却。
●电源:2套直流电源;1套全固态射频电源;一套200W直流偏压电源。
●充气系统:配置三路供气,二路分别配置质量流量控制器,线性±0.5 % F.S,重复精度±0.2% F.S,0-5V输出,在触摸屏上设置流量。
●尊龙人生就是搏网站控制系统:采用功能化模块设计,匹配西门子人机界面+西门子控制单元,溅射时间可以设定并 ,能够根据工艺需求自动溅射。
●特别说明:根据用户不同的工况和工艺要求,公司愿与客户联合研发,公司致力于工艺与设备的匹配,该设备为公司与尊龙人生就是搏网站大 合研发。
查看更多产品> 向您推荐
内容声明:您在尊龙人生就是搏网站采购商品属于商业贸易行为。以上所展示的信息由卖家自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布卖家负责,请意识到互联网交易中的风险是客观存在的。
价格说明:该商品的参考价格,并非原价,该价格可能随着您购买数量不同或所选规格不同而发生变化;由于尊龙人生就是搏网站不提供线上交易,最终 格,请咨询卖家,以实际 格为准。