多功能光学真空镀膜机/离子真空镀膜机
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产品详情
“多功能光学真空镀膜机/离子真空镀膜机”参数说明
认证: | ISO9001 | 品牌: | 南光 |
材质: | 不锈钢 | 用途: | 镀膜 |
性能: | 自动 | 驱动方式: | 电动 |
原理: | 罗茨泵 | 型号: | NG6001 |
规格: | 1100 | 商标: | NG |
包装: | 木箱 | 产量: | 10000 |
“多功能光学真空镀膜机/离子真空镀膜机”详细介绍
工厂 转让
产线用南光/莱宝品牌 1100-1300MM真空镀膜机 ,配带深冷双 ,晶控,离子源
真空镀膜机性能稳定、质量可靠、精密度高、自动化程度高。结构设计上接近德国莱宝镀膜设备,设备性能上 于国内同行镀膜设备。
【用途】
专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计,各系统单元和总体结构很好地满足了光学薄膜生产工艺的要求,适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀制。
【基本参数】
(1)极限真空:3×10-4Pa
(2)恢复真空时间:大气至4×10-3Pa≤15min
(3)采用KT-630型扩散泵(18000L/s)两台(带移相温度控制),HGL-150型滑阀泵一台+ZJP-600罗茨泵一台,维持泵2X-30型机械泵(30L/s)一台;配备防湍流装置
(4)真空程序有自动和手动两种模式。日本欧姆龙型PLC控制所有泵阀动作;高阀、低阀、预阀,到位信号送入PLC控制信号;PLC程序带故障报警功能,如气压、水流、机械泵等保护及报警;12英寸触摸屏在线监控PLC各种输入及输出信号。
(5)工件转动:采用磁流体密封转动装置,其它地方采用传统的橡胶圈密封
(6)工件烘烤:桶状上烘烤,三点控温,加热器采用管状加热器,配温控仪
(7)E型电子 两支, 功率10KW/支;束偏转角270°;阳极电压为8KV、10KV;束流:0-1000mA可调;具有X、Y方向扫描,扫描波形有三角波、正弦波、矩形波可选择,电子 主体有屏蔽罩,电子 输出功率稳定。
(8)配备美国MAXTEK公司的MDC360C型石英晶体膜厚仪。
(9)Φ16CM的离子源
(10)12英寸的触摸屏,可编程控制器(PLC)中央控制方式及其相关尊龙人生就是搏网站控制单元对设备真空系统、蒸发源系统、烘烤系统、工件转动系统、膜厚监控系统等进行监测和控制
详情欢迎来工厂看机
地址:广东东莞市茶山镇增卢路新益大厦(集友工业村对面)
服务热线:0769-23105805传 真:0769-23064224手机:13723521401 18103045976 杨小姐Q Q:2531943211
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