MKS910系列真空计是一个结合了皮拉尼的压力测量科技和一个电子控制传感器，它的测量范围可以从10ˉ5Torr 到1500Torr，压电规是一个与气体种类无关的直接测量的绝对压力传感器，它有一个特有的温度补偿功能从而达到在较宽的量程范围提供很高的测量精度。压电规测量10ˉ1Torr到1500Torr，当真空压力低于10ˉ2Torr时微皮拉尼会对压电规自动调零。

产品特点：
● 集成了微电子和2个真空计于一体，大大节约了空间
● 超宽的测量范围从10ˉ5Torr到1500Torr
● 较经济的替换成本
● 由于910快速， 和重复性的压力测量较小了工艺周转的时间
● 非常容易进行模拟输出和数字通讯
● 简易的安装于任何位置和方向
● 结合了半导体LOADLOCK的应用
● 可以抵御大气压的冲击和振动
● 不受气体种类的影响，压电陶瓷规可以 测量大气压的压力
● 3个设定点提供了快速地稳定地工艺控制
● 符合欧洲CE，EMC标志

技术参数：
测量范围：1.0*10ˉ5 到1,500Torr 或1.3*10ˉ5 到2000Mbar 或1.3*10ˉ3 到200，000Pa
设定点范围：1.0*10ˉ4 到1,500Torr 或1.3*10ˉ4 到2000Mbar
或1.3*10ˉ2 到200，000Pa；有3个设定点。
校准气体： 空气，氩气，氦气，氮气， 气，水蒸汽
周围环境温度：0-40℃
可烘烤温度： 85℃
数字通讯模式：RS485或RS232
调变点响应时间：压电陶瓷规：≤25毫秒
微皮拉尼规：≤300毫秒
电源要求：10 到 30VDC，150 毫安，1.5瓦
模拟输出: 1 到 9 VDC，
重复性：
大气压到 10ˉ2Torr 1%；
10ˉ3 Torr 时 5%；
10ˉ4 Torr 时 10%；
测量精度：
1000Torr 到 10Torr 1%
10Torr 到 10ˉ4Torr 10%
过压限制: 1500 Torr
安装方向：任意方向
内部容积： 0.65CM3
材料： 304 不锈钢
重量：209 克