产品描述

郑州科探仪器设备有限公司

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经营模式: 生产制造

所在地区: 河南省  郑州市

认证信息: 身份认证

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郑州科探仪器设备有限公司是石英管真空封口机,真空探针台,小型蒸镀仪的优良生产制造厂家,竭诚为您提供全新的大功率溅射仪郑州科探仪器,高温蒸镀仪郑州科探仪器,非标真空设备真空加热腔等系列产品。

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小型真空钨舟热蒸镀仪

图片审核中 小型真空钨舟热蒸镀仪
小型真空钨舟热蒸镀仪

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价格 面议
起批量 ≥1件
供货总量 999件
产地 河南省/郑州市
发货期 自买家付款之日起30天内发货
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产品详情

“小型真空钨舟热蒸镀仪”参数说明

是否有现货: 加工定制:
型号: Kt-z1650CVD 产量: 999

“小型真空钨舟热蒸镀仪”详细介绍

小型真空钨舟热蒸镀仪基本介绍
小型真空钨舟热蒸镀仪KT-Z1650CVD是一款小型多功能镀膜仪,额定1800度高温,自动样品挡板,靶台旋转,触摸屏多段控制,工艺储存等功能。
小型真空钨舟热蒸镀仪性能特点

小型真空钨舟热蒸镀仪KT-Z1650CVD

是一款小型多功能镀膜仪,额定1800度高温,自动样品挡板,靶台旋转,触摸屏多段控制,工艺储存等功能。

正空蒸发镀膜包括以下基本过程:

(1)加热蒸发过程:包括由凝聚相转变为气相的过程,每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。

(2)气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输,即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。

(3)蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发,凝聚,成核,核生长,形成连续的膜。由于基板温度远

低于基板温度远低于蒸发源温度,因此,气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。

 

小型真空钨舟热蒸镀仪技术参数

小型真空钨舟热蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa)  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)

 

小型真空钨舟热蒸镀仪使用说明
 
小型真空钨舟热蒸镀仪采购须知
 

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